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半岛彩票芯片里面有几千万的晶体管是怎么实现的?

发布时间:2023-08-03 12:45浏览次数: 来源于:网络

  半岛彩票要想造个芯片, 首先, 你得画出来一个长这样的玩意儿给Foundry (外包的晶圆制造公司)

  (此处担心有版权问题… 毕竟我也是拿别人钱干活的苦逼phd… 就不放全电路图了… 大家看看就好, 望理解! )

  cool! 我们终于看到一个门电路啦! 这是一个NAND Gate(与非门), 大概是这样:

  其中蓝色的是金属1层, 绿色是金属2层, 紫色是金属3层, 粉色是金属4层...

  仔细看图, 看到里面那些白色的点吗? 那是衬底, 还有一些绿色的边框? 那些是Active Layer (也即掺杂层.)

  首先搞到一块圆圆的硅晶圆, (就是一大块晶体硅, 打磨的很光滑, 一般是圆的)

  2. 光刻(用紫外线透过蒙版照射硅晶圆, 被照到的地方就会容易被洗掉, 没被照到的地方就保持原样. 于是就可以在硅晶圆上面刻出想要的图案. 注意, 此时还没有加入杂质, 依然是一个硅晶圆. )

  3. 离子注入(在硅晶圆不同的位置加入不同的杂质, 不同杂质根据浓度/位置的不同就组成了场效应管.)

  4.1干蚀刻(之前用光刻出来的形状有许多其实不是我们需要的,而是为了离子注入而蚀刻的. 现在就要用等离子体把他们洗掉, 或者是一些第一步光刻先不需要刻出来的结构, 这一步进行蚀刻).

  --- 以上步骤完成后, 场效应管就已经被做出来啦~ 但是以上步骤一般都不止做一次, 很可能需要反反复复的做, 以达到要求. ---

  6.1 快速热退火(就是瞬间把整个片子通过大功率灯啥的照到1200摄氏度以上, 然后慢慢地冷却下来, 为了使得注入的离子能更好的被启动以及热氧化)

  ! (就是那个标注Cr的地方. 中间空的表示没有遮盖, 黑的表示遮住了.)-- 光刻>

  好处是精度特别高, 目前大多数高精度的(100nm技术)都用这个掩膜. 坏处是太慢...

  k一般是0.4, 跟制作过程有关; lamda是所用光的波长; NA是从芯片看上去, 放大镜的倍率.

  以目前的技术水平, 这个公式已经变了, 因为随着Feature Size减小, 透镜的厚度也是一个问题了

  恩.. 所以其实掩膜可以做的比芯片大一些. 至于具体制作方法, 一般是用高精度计算机探针 + 激光直接刻板. Photomask(掩膜) 的材料选择一般也比硅晶片更加灵活, 可以采用很容易被激光汽化的材料进行制作.

  你所在或了解的领域有哪些技术上不是很复杂,但 idea 非常好,很有原创性的研究? - 科学

  这个光刻的方法绝壁是个黑科技一般的点! 直接把Lamda缩小了一个量级, With no extra cost! 你们说吼不吼啊!Food for Thought: Wikipedia上面关于掩膜的版面给出了这样一幅图, 假设用这样的掩膜最后做出来会是什么形状呢?

  步骤16-18 (加上许许多多的重复) 属于后端处理 (BEOL) , 后端处理主要是用来布线. 最开始那个大芯片里面能看到的基本都是布线! 一般一个高度集中的芯片上几乎看不见底层的硅片, 都会被布线遮挡住.

  版权归原网站 (ANAND TECH) 以及原作者所有, 仅供示意参考(实在懒得自己画了..)之前的芯片图来自我自己的设计.

  传统CMOS技术的缺陷在于: 衬底的厚度会影响片上的寄生电容, 间接导致芯片的性能下降. SOI技术主要是将 源极/漏极 和 硅片衬底分开, 以达到(部分)消除寄生电容的目的.

  制作方法主要有以下几种(主要在于制作硅-二氧化硅-硅的结构, 之后的步骤跟传统工艺基本一致.)

  的答案,感觉基本已经涵盖了一个电路从设计走到生产的每一步。但是感觉在细节上还是存在一些问题:

  1. 当前CPU上的晶体管已经远远不是千万级别的概念,而是数个billion。

  2. 目前最先进的制程工艺是Intel 刚刚公布的14nm工艺,Fin Pitch小于 50nm,可以说是技术上的一个飞跃了。关于所谓的14nm,实际只能初略的反映工艺的一个技术节点,线nm之后的技术,目前理论预测的极限大概在3nm左右。出去开会的时候和一些工业界的大牛们有过一些学习,据说目前10nm已经完成了大规模生产最初阶段的论证,而7nm也基本完成了实验室阶段的研发。感觉5nm,甚至是3nm只是时间上的问题。

  4. 关于CPU的生产流程,实际只包含Intel的工艺是不完整的。目前技术上有两大阵营,一者是Intel为首的Bulk Si FinFET 技术,一者是IBM为首的 SOI Si 技术,两者技术各有利弊。

  ,随着特征尺寸的缩小,光刻的重要性已经上升到无法上升的地步了,以至于出现了EUV

  5. 半导体产业毋庸置疑是近百年最为激动人心的领域,正是这无数的晶体管一代又一代的更新变革才有了近些年几乎爆炸式的IT 技术进步。

  6. 之前很难想象那几十亿个晶体管能几乎完全一致并且整齐划一的工作而不出现任何错误,这本身就是一件非常amazing的事情,其实在那小小的CPU背后包含了无数人几十年的心血(Intel在美国的技术研发部门有一万多人,其中有8000多PhD,可想而知其中投入的人力物力之大),于是这个问题就不难理解了。

  这是一个Top-down View 的SEM照片,可以非常清晰的看见CPU内部的层状结构,越往下线宽越窄,越靠近器件层。

  拆解的CPU是AMD的产品,AMD作为IBM阵营的公司,同Intel不同,其采用的是SOI 衬底技术。

  关于之前提到的Intel 14nm 技术,在去年的国际电子器件会议上(IEDM2014),Intel公布了其的具体的技术细节,虽然还是有些语焉不详,但已经能够比较完整了解其中的一些工艺进展。

  此为3D FinFET中的Fin结构,Fin Pitch(两个Fin之间的距离)为40nm,这对于工艺上是很大的挑战了,同时对于提高集成度缩小成本具有非常重要的意义。

  和Intel的体硅(Bulk Si)技术不一样,IBM采用的是绝缘体上硅(SOI)上的3D晶体管。

  关于提到的EUV(极紫外)光刻技术,其采用波长为13.5nm的紫外光用于光刻,因为波长远小于当前使用的193nm光源,因为光的衍射带来的精度问题将大大减小,但小波长意味着非常高的能量(正比于光波的频率,反比于波长),因此如何得到稳定、合适、大功率的光源是一个极难的问题,同时因为极小的波长,普通用于聚焦的透镜将无法使用,只能使用反射式透镜,这也是一个极难的问题。据说目前TSMC 非常看好此项技术,已经入手好几台了,只是Intel仍然按兵不动,据说还要接着弄multiple patterning。

  贴一张图,给大家一个简单的认识, ASML的某个型号的EUV光刻机,猜测是NXE 33XX的某个型号。售价120 Million Dollar,合人民币7.2亿元,需要动用波音747 运输11架次才能从荷兰运抵目的地。半导体产业是知识密集型,资本密集型工业,只有大佬们玩得起。

  但是,为什么这样能够做出来和晶体管一样的性质和功能?那么就要先了解,晶体管有怎样的性质?晶体管作为一种半导体的器件,最最基本的结构还是

  。可以认为,如果能够实现了PN结的结构功能,再进行相关组合,就可以完成晶体管的制作。我们知道,

  PN结也就是上面那张图中源、漏区(深蓝色)与硅衬底(黄色),以及N阱(或P阱,淡蓝色)与源、漏区(褐色)形成的结构。

  使用光刻技术。将掩膜版(mask)上的几何图形,通过光化学反应转移到覆盖在半导体晶片上的感光薄膜层上,就可用来

  。可以这样理解:就类似于在背上的部分地方涂防晒霜再去晒太阳,涂了防晒霜的地方不会被晒黑,没有涂的晒黑了,就能出来图案。不同的是光刻中用到的光刻胶(也就是“防晒霜”)分为正胶和负胶,差异就在于涂了胶的地方被留下还是涂了胶的地方被去掉而已。

  这样,基本就完成了管子的制作。之后再用氧化等一系列流程来制造出栅极等需要的部分,当当当当~管子就完成啦。当然实际的流程绝对不像我说的这么简单,氧化、光刻、注入也绝对不是一次就可以完成的事,反复交替进行是必须的。完成一个晶体管也是很复杂的呀……具体流程可以看现在排名第一的大神答案,讲解得很详细。这样我们就可以看出来,一个管子的完成只是在一小片硅片上做的小手段,而不是像堆积木一样堆叠晶体管,当然就可以在很小的面积中完成很多很多啦。

  2,半导体设备的历史要看ASML、TI、KT、AMAT、TEL、安捷伦、尼康等,而先进设备看ASML跟AMAT就可以了;

  上述两个答案,已经很全面了,因为从fab(就是前面朋友说的foundry,这里特指半导体生产制造代工厂,业内人以fab代称,以台积电(TSMC)为最,国内中芯国际为代表(SMIC))的PIE(全称是process integration engineer, 工艺集成工程师,fab里的岗位之一,号称是fab的灵魂,其实也就是盯着全线工艺的,当然也会做其他的事情 )出来,所以从其他方面补充一下(纯描述,无图,自行脑补吧)。

  目前芯片技术含量最高的,无疑还是电脑芯片跟手机芯片,英特尔的i7(这个不用介绍了吧)处理器里面是已经是几十亿颗晶体管了,远远超过题主说的几千万。

  将一颗颗比尘埃还小的晶体管,弄上去,是需要一些手段的,嗯,分步骤介绍如下:

  首先,得有图,以前是图纸,现在是电子图,总之,得事先规划好这些晶体管的布局,电路设计师就是做这些的,另外还有版图设计师、验证的、仿真的等,将复杂无比的电路给具现到一颗颗晶体管上面,然后就可以开始制造了。

  那么,怎么制造出来呢,答主PIE出身,对这个算是颇为熟悉,所以介绍的仔细一点。

  (就是联发科,中低端智能手机的芯片大多就是他家的,感谢联发科,让智能手机迅速普及,小米跟魅族想降价,就得继续用他们的货,便宜又好用)或

  (高端芯片代名词,特别贵,还收离谱的授权费,涉嫌垄断被搞了,不过这家公司真心牛逼)或其他厂家或

  (芯片设计公司,大把的抓,主要就是设计芯片电路的,台湾跟深圳最多)进来的需求到了fab,要生产芯片了,好,fab开始负责接单,首先确认工艺,如果客户行有余力,还会提供技术支持,不过一般都是fab自己搞定。几十亿颗芯片要制造出来,得有一套详细的流程,什么时候用什么机台用什么条件等,fab里叫flow,就是流水线作业,这个在产品进入量产之前,都会有几个版本的flow,调工艺条件,叫recipe。flow好了,就开始生产吧。现在的工艺条件

  (SMIC的北京新厂研发任务就是承担这个使命的)台积电量产是ok的吧,不过国内还不行,技术还达不到,40/45nm的已经ok了,SMIC在生产了。目前一般的手机芯片生产过程需要涉及到数十台先进机器,数千个

  (就是步骤,这个也解释我也是醉了),那么几十个机台对应几千个step,就不可避免的要重复使用,所以就有了重复的步骤,正是这一步步的重复,最终将电路图给实实在在的刻在晶圆上,fab里叫wafer,

  (就是指wafer的直径,硅基底)是主流,12寸(直径300mm)是趋势,18寸厂(直径450mm)还得好几年,目前国内有5家12寸厂(SMIC两家,华力一家,武芯一家,还有个忘了,英特尔跟三星也有12寸厂,在大连跟西安,不过算是国外的)。从最开始wafer进来检测ok,开始清洗,有时候需要做外延,有时候是外延好的产品,fab里目前的工艺需要做几层oxide(氧化物层)、nitride(氮化物层),然后才是流程化的曝光、显影、刻蚀、洗边、填充、研磨(这几个术语还真不好解释,参考上个回答的图文吧)等,跟答案一的步骤类似,就不详述了。里面用到的设备都奢侈昂贵,litho区(就是黄光区,在这个区域里面主要是做光学方面的东西,包括曝光、显影、检测等)的immersion(浸润式,这个是目前光学设备的最顶尖工艺)真是顶天了,

  的一台机器跟大卡车似的,卖几亿RMB,尼康(尼康的光学镜头也是挺牛的,不过还是比不上ASML)的相对便宜些,那些可是代表半导体最顶尖的技术,EUV(深紫外光,光学波长更短,还在研发中)出来至少得再翻几番吧。wafer在出厂之前,要检测WAT(主要指芯片的电性能测试,主要包括电阻、电容、电压等)啊THK(主要是厚度测试,thickness)啊角度啊等,看产品需要,然后出给客户,如果客户那边检测ok,后续也没那么多麻烦事了,不然呢就得回头继续改,或者做yield improve(良率改善,就是提高芯片的良率,业界良心,55nm工艺的良率都是冲刺99%的),好麻烦的。再补充几句吧,答主以前做

  (逻辑电路芯片,与记忆类芯片不同,工艺复杂些)的,晶体管都是共用的,55nm摸过的,关键工艺有那么几步:AA(就是离子注入的主要位置)、

  (多晶硅材质,电压就是压在他上面)、CT(这里指下面晶体管跟上面金属线(金属线第一层,一般越先进的工艺,金属线排布越复杂,不过工艺条件差不多,以第一层来代替后续工艺),AA、Poly更是将晶体管定义出来了,关键之处不言而喻,后面的CT、metal不过是将这些晶体管连起来的管路而已,特别是metal,都是重复堆叠,相比较而言更考验CMP(就是研磨,现在的东西镀膜了要通过CMP磨平,金属线填充的高低起伏要靠CMP磨平,所以现在金属线的工艺水平几乎受CMP制约)的能力。做AA、Poly,最考验litho和etch(刻蚀,一般指离子刻蚀),怎么样曝出来符合要求的尺寸,fab叫CD(critical dimension,特征尺寸,其实就是大家常说的45nm工艺等,poly的线宽),是最核心的工艺,一般fab里最顶尖的机台和工程师就是为这个服务的,intel有鱼鳍结构的,后面或者3D晶体管,这个必须大牛才能解释清楚了。——————————闲言碎语补充————————————

  其实现在大多数芯片制造都是放在fab里做的,intel和三星还在坚持自己一条龙,设计、生产、产品都做了,苹果据说也买了个厂来制造,个人是不看好的,fab这东西需要积累的太多了,而且很辛苦,利润也没那么高,苹果自己搞这个,反倒是放弃了自己的长处,估计也不会花费很多心思在上面。另外,目前芯片制造,除了制造出有源区的晶体管,晶体管后面的布线方式也一起打包做了,就是后面的metal互连,以前用

  (镶嵌工艺,因为大马士革这个地方的玻璃、宝石镶嵌工艺很出名,所以用地名代替)来弄,Cu互连技术倒有可能是制约芯片进一步微缩的门槛,需要技术突破的地方。做晶体管,就不能不说离子注入,fab叫implant,用什么样的离子(B-硼,P-磷等),剂量,角度,强度,都很讲究,因为这些决定了晶体管的导电特性,先进工艺还用到了halo implant或者分批次注入等方式(这里主要是为了让离子注入浓度更均匀),也是需要技术突破的地方。补充一下怎么刻那么细。头发很细吗,已经很粗了好吗,请不要用肉眼的判断来衡量机器的工作能力,一根头发的直径是8w纳米,而光学(肉眼可见和紫外)的特征波长有193、248、400nm多的,具体数字记不清了,不过正是光的特征波长决定了可以做多细,而immersion机台可以将193再乘以一个系数,现在的28nm技术就是用这个机台搞出来的,而至于7nm等更先进的,估计要等EUV出来。(好像有图,有时间找找贴上来,我是有多懒得找图啊)

  从普通人角度来看,怎么可能做这么细,或者可以这么理解:我有一个非常稳定的固定装置,非常精确的对准装置和检测装置,然后有一个非常细的刻刀(光的特征波长),将wafer牢牢固定之后呢,用非常细的刻刀去操作它,肉眼看不清的图案它能看清,肉眼做不到的事情它能做到,所以这就是机器的牛逼之处,感谢ASML吧,那是一家最顶尖的公司。

  而且芯片也不是所有的地方都细,一般也就AA、Poly、CT、M1细,其他的还好啦,再补充一点,所谓先进技术里那么细的,fab叫特征尺寸CD的,指的是Poly的CD,就是常说的28nm技术,45nm技术等。

  另外再吐槽一下,并不是晶体管越多越好,反正从答主的工作经验来看,越先进的工艺,问题越多,可靠性越差,为什么我们觉得以前的机子耐用,现在的机子经常死机,不是很简单的吗,以前的器件像一整个石块一样,很牢固,现在的器件像石子粘起来的石块,任何一个石子出现问题了,整个石块就崩裂了,所以功能增多的同时,是要损失寿命的。不过大家两年一换手机,也无所谓了,不是吗……

  有朋友问12寸的wafer上能做多少颗芯片,以答主做过的55nm芯片为例,从6000颗到3w颗都见过,也听同事说过十几万的,看芯片设计的大小了,也跟功能有关系,有的没办法做太小,而有的没必要做很大,而且随着集成度越来越高,可能会分岔路走,一方面走功能多样化,这样芯片面积很难减小,另一方面走小芯片之后再拼接,这样wafer上的芯片只会越来越多。

  终于出现自己领域内的问题了,怎能不答。 微电子专业,非学霸,乃学渣,疏漏之处,还望指正。

  ———————————————工程量比想象中大..ORZ————————————————

  先列下提纲,之后回去查资料将细节补上,好多东西都忘了T_T... 学渣水平也有好处,那就是会尽量说的大白话一点。

  集成电路从一个想法到最后的实现,依托于背后一大批学科作为理论支撑,当然还要加上人类惊人的创造力和执行力。 什么是半导体?为什么斯坦福旁边的地方叫硅谷而不叫绝情谷?半导体物理和固体物理告诉你硅的秘密。电路究竟是如何自嗨的?电阻、电容、电感是如何在一起斗地主的?电路分析告诉你。MP3内心的小鹿乱撞是如何被神奇地放大成重金属摇滚的?婀娜多姿的矩形波、正弦波、三角波、动感光波、宇智波...是如何翩翩起舞的?模拟(集成)电路告诉你。加减乘除与或非、cpu和memory,究竟是如何带你游戏带你飞的?数字(集成)电路告诉你。 既然如此,那我就不告诉你了。。( ̄ε(# ̄)☆

  科技革命进入电气时代后,人们使用电路实现各种各样的功能:开关-灯泡是最简单的电路,夜幕下斑斓闪烁的霓虹灯用到了稍微复杂的电路,一个城市的交通指挥灯则用到了更复杂的系统电路来控制,等等。人们把各种简单的电路集合在一起,就可以实现更复杂的功能,比如可以计算、可以编码解码、可以《威风堂堂》、可以《速度与激情》、可以《王者农药》等等。当杰克·基尔比和罗伯特·诺伊思灵光一现、将所有电路元件集合在一块小小的基片上后,技术宅成功逆袭了。>

  一般的,我们用由上而下的层级来认识集成电路,这样便于理解,也更有条理些。

  (1)系统级 以手机为例,整个手机是一个复杂的电路系统,它可以打电话、可以玩游戏、可以听音乐、可以哔--。它由多个芯片以及电阻、电感、电容相互连接而成,称为系统级。(当然,随着技术的发展,将一整个系统做在一个芯片上的技术也已经出现多年——SoC技术)(2)模块级 在整个系统中分为很多功能模块各司其职。有的管理电源,有的负责通信,有的负责显示,有的负责发声,有的负责统领全局的计算,等等。我们称为模块级。这里面每一个模块都是一个宏大的领域,都聚集着无数人类智慧的结晶,也养活了很多公司。

  (3)寄存器传输级(RTL) 那么每个模块都是由什么组成的呢?以占整个系统较大比例的数字电路模块(它专门负责进行逻辑运算,处理的电信号都是离散的0和1)为例。它是由

  组成的。 所谓寄存器就是一个能够暂时存储逻辑值的电路结构,它需要一个时钟信号来控制逻辑值存储的时间长短。

  现实中,我们需要时钟来衡量时间长短,电路中也需要时钟信号来统筹安排。时钟信号是一个周期稳定的矩形波。现实中秒钟动一下是我们的一个基本时间尺度,电路中矩形波震荡一个周期是它们世界的一个时间尺度。电路元件们根据这个时间尺度相应地做出动作,履行义务。>

  组合逻辑呢,就是由很多“与(AND)、或(OR)、非(NOT)”逻辑门构成的组合。比如两个串联的灯泡,各带一个开关,只有两个开关都打开,灯才会亮,这叫做与逻辑。

  图中的三角形加一个圆圈是一个非门,旁边的器件是一个寄存器,D是输入,Q是输出,clk端输入时钟信号。

  (4)门级 寄存器传输级中的寄存器其实也是由与或非逻辑构成的,把它再细分为与、或、非逻辑,便到达了门级(它们就像一扇扇门一样,阻挡/允许电信号的进出,因而得名)。

  (5)晶体管级 无论是数字电路还是模拟电路,到最底层都是晶体管级了。所有的逻辑门(与、或、非、与非、或非、异或、同或等等)都是由一个个晶体管构成的。因此集成电路从宏观到微观,达到最底层,满眼望去其实全是晶体管以及连接它们的导线。

  用的比较多,俗称三极管。它连上电阻、电源、电容,本身就具有放大信号的作用。像堆积木一样,可以用它构成各种各样的电路,比如开关、电压/电流源电路、上面提到的逻辑门电路、滤波器、比较器、加法器甚至积分器等等。由BJT构建的电路我们称为TTL(Transistor-Transistor Logic)电路。BJT的电路符号长这个样子:

  如上所述,在实际工业生产中,芯片的制造,实际上就是成千上万个晶体管的制造过程。

  我们知道,金属可以导电,而且导电过程中是无数定向移动的电子在起作用。而半导体不同,它导电过程中,除了电子,还有一种

  (电流的载体)也可以形成电流——空穴。我们知道,硅的最外层电子数量是4个,它们彼此规则地排列在一起,形成稳定的共价键(如下图)。这种情况下,由于最外层电子达到饱和,结构比较稳定,因此较难导电。

  可以看到,砷最外层有4个电子与相邻的硅原子形成共价键,这样就多出来一个相对自由的电子。如果这个硅片中掺杂了很多磷原子,便意味着有很多个这样多出来的电子,一旦加上电压,它们就可以顺着电场定向移动,从而形成电流。这种掺杂砷(磷)的、由多出的电子定向移动形成电流的硅我们称为N型硅(N为Negative,带负电荷之意)。

  由于硼的最外层电子只有3个,与周围的硅原子形成共价键之后,还有一个空位没有填上。我们将这个空位称为空穴,与电子相反,它带正电荷。在加上电场后我们认为这个空穴会定向移动,形成电流。(实际上还是电子在移动,但若以电子为参照物便是空穴在移动了,这样也便于进行理论建模)。相应的,将这种掺杂硼的硅称作P(Positive)型硅,它的载流子为空穴。

  MOS管的基本结构很简单,就是在一个硅基底(Substrate)上,掺杂一定的杂质,形成有源区(下图中绿色的部分),其中一个为源极(Source),一个为漏极(Drain)。在有源区之间的硅基底上沉积一层金属,作为栅极(Gate),这样就构成了一个MOS管。>

  按照前面所讲,掺杂磷/砷的、载流子为电子的MOSFET,称为NMOS;掺杂硼的、载流子为空穴的MOSFET称为PMOS。上图所示为NMOS。图中的n+不是说它带正电荷,加号+的意思是掺杂浓度较高,称为重掺杂。相应的,上图中硅基底为p-Si,减号- 表示掺杂浓度低,称为轻掺杂。

  那么这个结构有什么猫腻呢?想象一下,如果在NMOS的金属栅极加上一个正电压会发生什么?由于金属与半导体之间有一层氧化物阻隔,可以把金属-半导体看成一个平板电容的上下两极,当金属一极加上了正电压,金属-氧化物界面会聚集一层正电荷,它们形成的电场会驱散氧化物-半导体界面的正电荷(空穴),同时把电子吸引过来。随着电压的持续增大,氧化物-半导体的交界处会逐渐形成一个由电子聚集而成的沟道(Channel),当电压到达某一个值,沟道完全形成,联通了左右的源极和漏极。如果在源极和漏极之间施加一个电压差,借助形成的电子沟道,就会有电流流过,NMOS管导通(如下图)。

  MOS管刚好导通时,栅极所施加的电压临界值称为阈(yù)值电压(Threshold),即上图中的VT ,栅极上所加的电压表示为VG。 至于PMOS管,与NMOS管相反,给栅极加上负电压,源极和漏极之间会形成一个由空穴聚集而成的沟道。所以就有:VTN 0, VTP 0。 所以大家就明白啦,MOS管就像一个开关一样,可以通过控制栅极的电压来打开或关断。有了它,我们就可以像搭积木一样地搭起各种复杂的电路啦。

  图(a)是MOS管原理图,图(b)是反相器的电路符号。PMOS和NMOS的栅极接在一起作为输入Vin,两者的漏极作为输出Vout。如之前所说,当Vin为高电平1时,NMOS导通,PMOS的沟道没有形成,处于关断状态,那么Vout就等同于Vss的电位,为低电平0;当Vin为低电平0时,NMOS关断,PMOS导通,此时Vout就等同于Vdd的高电位1。输出总是与输入相反,这便是反相器。(现实中,为防止有电流从衬底流向源极和导电沟道,通常将衬底与源极相连。因此此时栅极的电位即使为0,也比衬底的Vdd电位低,足以形成P型沟道。)

  etal-Oxide-Semiconductor,CMOS)。它的优点是省电!在输入为固定值时,无论高低电平,总有一个管子处于关断状态,从Vdd到Vss之间并没有电流流过,所以它的静态功耗很低。只有在输入状态改变时才会有较大的功耗。其它的基本逻辑电路如与门、或门,与非门等等都是由纯CMOS电路构成。复杂点的电路如静态随机存取存储器动态随机存取存储器的基本单元也是由MOS组成(如下图),有兴趣的童鞋可以去研究下它的原理。>

  如上所述,一个芯片的诞生,要从沙子开始说起(What?!)。大家都了解,芯片都是用硅这种材料制造出来的,由之前的介绍,大家大体了解了硅这个东西的物理特性、电学特性很适合我们在它上面搞事情。最关键的是,或许是上天恩赐,硅这个东东的来源极其广泛而廉价——沙子(主要成分是二氧化硅)。想想撒哈拉大沙漠那一望无际的沙丘,是不是跟白捡一样!(当然,也不是神马沙子都能拿来当原料的,自然要选择杂质少、纯度高的)。

  如何把沙子变成纯净的硅?简单说就是在一个耐高温的锅炉(石墨坩埚)里把沙子熔了,掺点飘着烟雾的魔法药水,搞个还原反应把二氧化硅还原成硅,再一冷凝,duang——硅!这说起来简单,细说起来能写好多博士论文。

  具体的化学原料、化学反应式、反应温度/压力/氛围本学渣也基本忘光了,在这里不赘述。就单说一下还原反应结束后,石墨坩锅里剩下的熔融的硅是如何变成下图中的硅锭吧。

  硅单质分为两种形态——单晶硅和多晶硅,大家可以这样简单理解:单晶硅就是硅原子们在开阅兵式,所有的家伙都站得规规矩矩,步伐一致,整齐划一。而多晶硅就是一群自由散漫的家伙,有站有坐有卧,有朝南的,有朝东的,还有有朝天的。而我们制造芯片所需要的晶圆是规矩的阅兵式硅。面对一锅炉熔融躁动的液态硅,聪明的人类把一群纪律严明、训练有素的军官(单晶硅种,Seed Crystal)派遣到锅炉里,去驯化这群躁动的小子们。这群小子们迫于军官的威严,乖乖地按照军官们的指示排列起了方阵,同时军官们把排好方阵的小伙子们慢慢拉出锅炉,躁动的灵魂冷静下来,也变为成熟威严的军官。它后排的小伙子们也受感召,前赴后继地跟随前辈们的步伐排好方阵、出锅炉,完成成人礼。

  有切过土豆吗?老司机切片之前是不是要先横着来一刀切出一个平面?这样便于把土豆固定在菜板上,继而切片、切丝、浸水、晾干、锅里搁底油、下辣椒花椒烹出香味...然后老司机切牛肉的时候是不是要找到肉纤维的纹理,顺着纹理切?嗯,一个道理,硅锭的这条边,既起到后续的安装固定作用,又为确定硅晶向(理解为硅的纹理吧)作出了指示。(吃货属性暴露无遗(●′ω`●) )

  随着技术的进步,单片晶圆的大小在逐年增大,现在业界比较常用的是300mm(12寸))和450mm(18寸)的Wafer。

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